Aperçu de la plate - forme d'isolation active des vibrations

STACIS ® III est un système d'isolation vibratoire actif flexible. Utilisant des capteurs de vibrations inertiels avancés, des algorithmes de contrôle avancés et des actionneurs piézoélectriques, le système de plate - forme d'isolation active stacis filtre les mouvements du sol en mesurant en continu l'activité du sol, puis en étendant et en contractant les actionneurs piézoélectriques pour éliminer les vibrations en temps réel.

Initialement conçu pour isoler les équipements de microlithographie, de métrologie et de détection de précision dans les usines de semi - conducteurs avancées, stacis * * est devenu la solution standard de l'industrie pour * * Les instruments sensibles dans les environnements bruyants, y compris, mais sans s'y limiter, les usines de semi - conducteurs, les laboratoires d'analyse des défaillances, la recherche en nanotechnologie, les installations de Nanofabrication et les centres de recherche sur les matériaux.

Le système de plate - forme stacis III Active Vibration Isolation comprend un nouveau contrôleur numérique amélioré, le DC - 2020. Doté d'un nouveau processeur Dual - core, d'Ethernet et d'un port série USB sur les panneaux avant et arrière, ce tout nouveau système de contrôle * * offre aux utilisateurs une interface utilisateur graphique (Gui) moderne et facile à utiliser. Avec des centaines de cas d'installation réussis dans le monde entier, stacis est le système d'isolation vibratoire idéal pour les instruments sensibles aux vibrations * *.

Avantages du système de plate - forme antivibratoire active stacis III

Stacis est des centaines de fois plus rigide qu'un isolateur d'air et n'a pas les limites d'un système d'isolation d'air. Il n’a pas de suspension « douce » et contrairement au système active air, stacis peut être placé sous un outil avec un système d’isolation interne active air vibration, ce qui permet aux deux systèmes de fonctionner * *.

La conception série unique et la technologie piézoélectrique haute tension brevetée permettent une large bande passante active de 0,6 Hz * * * 150 Hz et * * une isolation active des vibrations avec une réduction de vibration de 90% à partir de 2 Hz.

Système de plate - forme antivibratoire active stacis III caractéristiques

▪ ** Nouveau contrôleur numérique DC - 2020 amélioré offrant une interface utilisateur graphique facile à utiliser

▪ L'isolation vibratoire commence à 0,6 Hz et atteint un taux d'isolation de 40% * * * 70% à 1 Hz

▪ Isolation des vibrations verticale et horizontale supérieure à 90% aux fréquences de 2 Hertz et plus

▪ Réduire les exigences et les coûts de construction de l'infrastructure, même avec des équipements de secousses externes plus importants

▪ Gamme efficace d'isolation vibratoire, 0.6hz à 150hz

▪ Obtenir une large reconnaissance et affirmation de nombreux utilisateurs

▪ Conception de montage rigide à 6 degrés de liberté sans Suspension pneumatique

▪ Système de contrôle puissant sans recalibrage périodique

▪ Proposition de conception point - of - use pour une compatibilité transparente avec les systèmes d'isolation vibratoire existants du client

▪ À mesure que l'environnement extérieur change, le système s'ajuste automatiquement pour s'adapter à différentes situations de chocs externes

▪ Stacis pour TMC ® Technologie utilisation d'actionneurs piézoélectriques annulation active des vibrations

▪ Contrôleur numérique avec interface utilisateur graphique (Gui) basée sur PC

▪ Améliorer la production, la qualité et le taux de produits finis des clients.

▪ Conforme à la norme ROHS

▪ ** Large bande passante active d'isolation vibratoire, * * effet d'isolation vibratoire basse fréquence

▪ Annulation active des secousses en Sub - hertz, * * isolation vibratoire principalement dans la bande 0,6 - 6 Hz

▪ Design empilable

▪ Structure de montage rigide active, pas de suspension souple, pas de dérive basse fréquence, élément actif lié à un ressort rigide

▪ Le ressort passif filtre la résonance de la charge du capteur stacis et nécessite très peu d'accord, même * * * Aucun accord requis

▪ Isolateur interne d'instrument compatible en raison de l'impédance inadaptée

▪ Charge jusqu'à 2000kg

▪ Systèmes d'isolation active des vibrations sur le marché * *.

Performance de la plate - forme d'isolation active des vibrations

Testez une charge utile de 2 045 kg (4 500 LB) en utilisant des vibrations analogiques de VC - C (500 μ in / s, 12,5 μ M / s RMS)

Spécifications de la plate - forme d'isolation vibratoire active

Spécifications de performance

Utilisateurs stacis et domaines d'application

1, microélectronique, semi - conducteur

▪ Détection de Wafer

▪ Technologie de microlithographie

▪ Calibration du masque

2, recherche scientifique, nanotechnologie

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3, table laser

▪ Sciences de la vie, recherche et développement pharmaceutique

4, application industrielle

▪ Usinage de précision

Pourquoi choisir un système d'isolation active des vibrations?

▪ Élimine fortement les secousses du sol à partir de < 1hz et la plate - forme pneumatique ne peut pas assurer une isolation efficace des vibrations à cette basse fréquence

▪ Améliorer la qualité, le volume de production

▪ Capacité d'imagerie plus fine

▪ Recherche de pointe

▪ Plus stable qu'une plate - forme pneumatique

▪ Solutions * * qui répondent aux paramètres d'installation du site standard SEM

▪ Réduire les coûts d'ingénierie des nouveaux laboratoires et équipements de recherche

Systèmes d'isolation active des vibrations Pourquoi choisir stacis

▪ Le cœur du chercheur scientifique est centré, offrant un environnement aussi sismique que possible * *.

▪ * * puissant système d'isolation vibratoire basse fréquence sur le marché.

▪ À l'heure actuelle, tous les fabricants de Sem ont publié les paramètres d'installation requis, les paramètres de secousse dont ils ont besoin doivent être satisfaits par un système d'isolation active des vibrations.

▪ Inventé dans les 1990s, stacis * * a été développé par TMC pour développer et installer des milliers de systèmes d'isolation active des vibrations, une solution fiable dans le domaine du contrôle actif des vibrations.

Stacis est plusieurs centaines de fois plus rigide qu'un isolateur pneumatique

Le temps de stabilisation en réponse aux perturbations est considérablement réduit en raison de la conception en tandem unique, idéal pour les applications de fabrication mécanique, de charges dynamiques, de lasers ou de sources lumineuses nécessitant l'installation de comptoirs rigides indépendants.

Les avantages suivants sont tous * * dans l'industrie

▪ Stacis a une bande passante d'isolation vibratoire active de 0,6 Hz à 150 Hz

▪ Suppression active des vibrations avec 6 degrés de liberté, isolation contre les vibrations 8 - 10db à 1hz

▪ Isolation vibratoire jusqu'à 90% (20db) à partir de 2 - 3hz

Enquêtes environnementales professionnelles

1, enquête environnementale avant et après l'installation, y compris la secousse, le champ magnétique, les ondes sonores

2. La certification du système environnemental peut être fournie après l'installation

▪ Service d'enquête environnementale parfait

▪ Rédiger un rapport environnemental professionnel

▪ Fournit des solutions de détection de vibrations, de champs magnétiques et d'ondes sonores

▪ TMC recommande des schémas d'utilité aux utilisateurs sur la base de sa vaste expérience

▪ Plus de 40 ans d'expérience dans l'industrie * *

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