Mesurez la réflectivité * * du film cible, mesurez l'épaisseur du film et la constante optique avec une grande précision! Sans contact · non destructif · microscopique
Temps de mesure de seulement 1 seconde!
Les épaisseurs de film microscopiques (série optm) utilisent la spectroscopie microscopique pour mesurer la réflectivité * * dans des zones minuscules, ce qui permet une analyse d'épaisseur de film / constante optique de haute précision. L'épaisseur du film de revêtement, par example divers films, plaquettes, matériaux optiques et couches multicouches, est mesurée par des moyens non destructifs et sans contact. Temps de mesure jusqu'à 1 seconde / point de mesure à grande vitesse et avec un logiciel pour analyser les constantes optiques, même pour les utilisateurs débutants
Caractéristiques du produit:
La tête intègre les fonctions requises pour la mesure de l'épaisseur du film
Mesure de haute précision * * réflectivité (épaisseur du film multicouche, constante optique) par microspectropie
1 Point 1 seconde de mesure à grande vitesse
Large gamme de systèmes optiques sous microspectrophotie (ultraviolet * * * proche infrarouge)
Mécanisme de sécurité des capteurs de zone
Assistant d'analyse facile, les débutants sont également capables d'effectuer des analyses de constantes optiques
Tête de mesure indépendante pour divers besoins de personnalisation inline
Support de diverses personnalisations
Projet de mesure:
* * mesure de réflectivité
Résolution de films multicouches
Analyse des constantes optiques (n: indice de réfraction, K: coefficient d'extinction)
Application:
Semi - conducteur: réglage automatique de l'échantillon de plaquette, détection de courbure de plaquette
Composants optiques: radiométrie des lentilles de lentilles, détection de courbure, etc.
Spécifications du produit modèlePour:
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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Gamme de longueurs d'onde |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Gamme d'épaisseur de film |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Temps de détermination |
1 seconde / 1 point |
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Taille du spot |
10 μm (* * * environ 5 μm plus petit) |
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Éléments photosensibles |
CCD |
InGaAs |
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Spécifications de la source lumineuse |
Lampe deutérium + lampe halogène |
Lampes halogènes |
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Spécifications de puissance |
Ac100v ± 10v 750va (spécifications de la table d'échantillon automatique) |
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Dimensions |
555 (w) × 537 (d) × 568 (h) mm (partie principale des spécifications de la table d'échantillonnage automatique) |
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Poids |
Environ 55kg (partie principale de la spécification de la table d'échantillon automatique) |